引言:光(guāng)電(diàn)子技術(shù)的双(shuāng)引擎
在(zài)當今信(xìn)息社会(huì),從全(quán)球互聯网(wǎng)數據(jù)交換到(dào)自(zì)動(dòng)驾駛汽車的激光(guāng)雷(léi)达(dá),從智能(néng)手(shǒu)機(jī)的面(miàn)部(bù)識别到(dào)醫療檢測設備,無數尖端技術(shù)的背後(hòu)都離不(bù)開(kāi)两(liǎng)類(lèi)關(guān)鍵芯片(piàn):激光(guāng)芯片(piàn)(Laser Chips)和(hé)矽光(guāng)芯片(piàn)(Silicon Photonics Chips)。激光(guāng)芯片(piàn)是(shì)“光(guāng)源”,矽光(guāng)芯片(piàn)是(shì)光(guāng)信(xìn)息的“處(chù)理(lǐ)器與(yǔ)傳輸器”,共同(tóng)構成(chéng)了(le)現(xiàn)代(dài)光(guāng)電(diàn)子技術(shù)的核心(xīn)。这(zhè)两(liǎng)類(lèi)芯片(piàn)既存在(zài)根(gēn)本(běn)性(xìng)差异(yì),又在(zài)技術(shù)發(fà)展(zhǎn)中(zhōng)緊密交織。本(běn)文(wén)将深入(rù)解(jiě)析它(tā)们(men)的區(qū)别與(yǔ)聯系(xì),揭示这(zhè)场(chǎng)“光(guāng)子革(gé)命”背後(hòu)的技術(shù)逻輯。
一(yī)、核心(xīn)差异(yì):工作(zuò)原理(lǐ)與(yǔ)材料特(tè)性(xìng)
1.1 發(fà)光(guāng)機(jī)制的本(běn)質(zhì)區(qū)别
激光(guāng)芯片(piàn)的核心(xīn)功能(néng)是(shì)实現(xiàn)高(gāo)效的電(diàn)→光(guāng)轉(zhuǎn)換,其(qí)奧秘在(zài)于(yú)材料的“直(zhí)接带(dài)隙”特(tè)性(xìng)。當電(diàn)流通过(guò)由(yóu)III-V族元(yuán)素(如(rú)砷化(huà)镓GaAs、磷化(huà)铟InP)構成(chéng)的半導体时(shí),電(diàn)子與(yǔ)空(kōng)穴复合釋放(fàng)的能(néng)量(liàng)直(zhí)接轉(zhuǎn)化(huà)为(wèi)光(guāng)子,通过(guò)光(guāng)學(xué)諧振腔的反(fǎn)饋放(fàng)大(dà)形成(chéng)激光(guāng)。这(zhè)種(zhǒng)直(zhí)接轉(zhuǎn)換效率极高(gāo),損耗极低(dī),使得III-V族材料成(chéng)为(wèi)激光(guāng)芯片(piàn)不(bù)可(kě)替代(dài)的選擇。其(qí)性(xìng)能(néng)直(zhí)接決定(dìng)了(le)激光(guāng)的波(bō)长(cháng)、功率、穩定(dìng)性(xìng)等關(guān)鍵參數。
相比之(zhī)下(xià),矽光(guāng)芯片(piàn)的核心(xīn)材料——矽,是(shì)一(yī)種(zhǒng)“間(jiān)接带(dài)隙”半導体。電(diàn)子在(zài)躍遷过(guò)程中(zhōng)動(dòng)量(liàng)發(fà)生(shēng)變(biàn)化(huà),能(néng)量(liàng)主要(yào)轉(zhuǎn)化(huà)为(wèi)晶格振動(dòng)(聲子)而非(fēi)光(guāng)子,以(yǐ)热(rè)能(néng)形式耗散(sàn)。形象(xiàng)地(dì)说(shuō),矽材料中(zhōng)的電(diàn)子“拐了(le)个(gè)彎”才到(dào)达(dá)目的地(dì),途中(zhōng)丢失了(le)發(fà)光(guāng)的“門(mén)票(piào)”。因(yīn)此(cǐ)矽本(běn)身(shēn)無法(fǎ)高(gāo)效發(fà)光(guāng),但它(tā)的價值体現(xiàn)在(zài)另(lìng)一(yī)维度(dù):超低(dī)損耗的光(guāng)傳輸和(hé)精密的光(guāng)信(xìn)号(hào)操控能(néng)力。
矽光(guāng)芯片(piàn)利用(yòng)矽與(yǔ)二(èr)氧化(huà)矽之(zhī)間(jiān)的高(gāo)折射率差(矽3.45 vs. 二(èr)氧化(huà)矽1.45)形成(chéng)亞微米尺(chǐ)寸(cùn)的光(guāng)波(bō)導結構。这(zhè)種(zhǒng)結構能(néng)将光(guāng)信(xìn)号(hào)緊密約束(shù)在(zài)波(bō)導內(nèi),实現(xiàn)低(dī)至(zhì)0.5dB/cm的傳輸損耗。矽光(guāng)芯片(piàn)上(shàng)集成(chéng)的是(shì)無源器件(jiàn)(波(bō)導、分(fēn)光(guāng)器、濾波(bō)器)和(hé)有(yǒu)源器件(jiàn)(調制器、探測器),但唯獨缺少(shǎo)光(guāng)源。
表(biǎo):激光(guāng)芯片(piàn)與(yǔ)矽光(guāng)芯片(piàn)核心(xīn)特(tè)性(xìng)对(duì)比
特(tè)性(xìng) | 激光(guāng)芯片(piàn) | 矽光(guāng)芯片(piàn) |
核心(xīn)功能(néng) | 電(diàn)→光(guāng)轉(zhuǎn)換,産生(shēng)激光(guāng) | 光(guāng)信(xìn)号(hào)傳輸、處(chù)理(lǐ) |
材料体系(xì) | III-V族化(huà)合物(wù)(GaAs, InP等) | 矽基材料(矽、氮化(huà)矽等) |
發(fà)光(guāng)能(néng)力 | 直(zhí)接带(dài)隙,高(gāo)效發(fà)光(guāng) | 間(jiān)接带(dài)隙,幾(jǐ)乎不(bù)發(fà)光(guāng) |
關(guān)鍵結構 | 量(liàng)子阱/點(diǎn)增益介質(zhì)、光(guāng)學(xué)諧振腔 | 亞微米波(bō)導、微环(huán)調制器 |
典型尺(chǐ)寸(cùn) | 數百(bǎi)微米級 | 亞微米至(zhì)毫(háo)米級集成(chéng)系(xì)統 |
1.2 光(guāng)通信(xìn)應(yìng)用(yòng)的功能(néng)定(dìng)位(wèi)
根(gēn)據(jù)通信(xìn)應(yìng)用(yòng)需求,激光(guāng)芯片(piàn)有(yǒu)多(duō)種(zhǒng)類(lèi)型:VCSEL(垂直(zhí)腔面(miàn)發(fà)射激光(guāng)器)适用(yòng)于(yú)短(duǎn)距離通信(xìn)(如(rú)數據(jù)中(zhōng)心(xīn)機(jī)櫃互連(lián)),DFB(分(fēn)布(bù)反(fǎn)饋激光(guāng)器)和(hé)EML(電(diàn)吸收(shōu)調制激光(guāng)器)則用(yòng)于(yú)长(cháng)距離傳輸(如(rú)城(chéng)域网(wǎng))。在(zài)光(guāng)模块(kuài)中(zhōng),激光(guāng)器芯片(piàn)占成(chéng)本(běn)比例高(gāo)达(dá)60%。
矽光(guāng)芯片(piàn)則是(shì)一(yī)个(gè)多(duō)功能(néng)平台,可(kě)集成(chéng)光(guāng)信(xìn)号(hào)的調制、分(fēn)束(shù)、波(bō)长(cháng)選擇和(hé)探測等全(quán)套(tào)功能(néng)。例如(rú)在(zài)400G光(guāng)模块(kuài)中(zhōng),矽光(guāng)芯片(piàn)能(néng)通过(guò)微环(huán)調制器实現(xiàn)高(gāo)速信(xìn)号(hào)編碼,通过(guò)阵(zhèn)列波(bō)導光(guāng)栅实現(xiàn)波(bō)分(fēn)复用(yòng),最後(hòu)通过(guò)鍺矽探測器完成(chéng)光(guāng)電(diàn)轉(zhuǎn)換。这(zhè)種(zhǒng)集成(chéng)度(dù)使系(xì)統尺(chǐ)寸(cùn)和(hé)功耗大(dà)幅降低(dī),特(tè)别适合數據(jù)中(zhōng)心(xīn)等需要(yào)高(gāo)密度(dù)部(bù)署(shǔ)的场(chǎng)景。
二(èr)、內(nèi)在(zài)聯系(xì):技術(shù)融合與(yǔ)系(xì)統集成(chéng)
2.1 矽光(guāng)芯片(piàn)需要(yào)激光(guāng)芯片(piàn)“點(diǎn)亮(liàng)”
矽光(guāng)芯片(piàn)雖(suī)功能(néng)強(qiáng)大(dà),但無法(fǎ)自(zì)行産生(shēng)光(guāng)源,必須與(yǔ)激光(guāng)芯片(piàn)結合才能(néng)構成(chéng)完整的光(guāng)電(diàn)系(xì)統。在(zài)矽光(guāng)技術(shù)的發(fà)展(zhǎn)过(guò)程中(zhōng),“如(rú)何高(gāo)效集成(chéng)光(guāng)源”一(yī)直(zhí)是(shì)核心(xīn)挑戰。
目前(qián)主流的集成(chéng)方(fāng)案(àn)是(shì)通过(guò)异(yì)質(zhì)集成(chéng)技術(shù)将III-V族激光(guāng)芯片(piàn)與(yǔ)矽光(guāng)芯片(piàn)物(wù)理(lǐ)結合。这(zhè)種(zhǒng)集成(chéng)不(bù)僅是(shì)簡單的物(wù)理(lǐ)連(lián)接,而是(shì)需要(yào)实現(xiàn)高(gāo)效的光(guāng)耦合和(hé)電(diàn)互聯,同(tóng)时(shí)解(jiě)決热(rè)管(guǎn)理(lǐ)和(hé)工藝兼容性(xìng)問(wèn)題(tí)。成(chéng)功案(àn)例如(rú)英特(tè)爾公司的矽光(guāng)收(shōu)發(fà)器模块(kuài),通过(guò)晶圆(yuán)鍵合技術(shù)将磷化(huà)铟(InP)激光(guāng)器集成(chéng)到(dào)矽波(bō)導上(shàng),自(zì)2016年(nián)起(qǐ)已实現(xiàn)大(dà)規模商用(yòng)。
2.2 融合技術(shù)方(fāng)案(àn)
(1) 倒裝(zhuāng)焊集成(chéng)(Flip-Chip Bonding)
这(zhè)是(shì)一(yī)種(zhǒng)芯片(piàn)級封(fēng)裝(zhuāng)技術(shù):首先(xiān)在(zài)III-V族晶圆(yuán)上(shàng)制備激光(guāng)器芯片(piàn)並(bìng)測試,然後(hòu)使用(yòng)高(gāo)精度(dù)拾取(qǔ)設備将激光(guāng)器芯片(piàn)翻轉(zhuǎn)後(hòu)对(duì)準矽光(guāng)子芯片(piàn)上(shàng)的波(bō)導結構,通过(guò)焊球实現(xiàn)電(diàn)連(lián)接和(hé)機(jī)械固定(dìng)。IMEC研究所(suǒ)開(kāi)發(fà)的先(xiān)進(jìn)工藝可(kě)实現(xiàn)優于(yú)500納米的对(duì)準精度(dù),耦合效率高(gāo)达(dá)80%。这(zhè)種(zhǒng)技術(shù)靈活性(xìng)強(qiáng),但逐个(gè)芯片(piàn)組裝(zhuāng)的方(fāng)式限制了(le)生(shēng)産效率和(hé)成(chéng)本(běn)降低(dī)空(kōng)間(jiān)。
(2) 晶圆(yuán)鍵合(Wafer Bonding)
在(zài)晶圆(yuán)級直(zhí)接将III-V族材料薄片(piàn)與(yǔ)處(chù)理(lǐ)好(hǎo)的矽光(guāng)晶圆(yuán)鍵合,然後(hòu)在(zài)III-V层(céng)上(shàng)制作(zuò)激光(guāng)器結構。英特(tè)爾公司采用(yòng)此(cǐ)技術(shù)实現(xiàn)了(le)激光(guāng)器與(yǔ)矽波(bō)導的倏逝波(bō)耦合——激光(guāng)器發(fà)出(chū)的光(guāng)通过(guò)近(jìn)场(chǎng)相互作(zuò)用(yòng)“流入(rù)”下(xià)方(fāng)的矽波(bō)導,降低(dī)了(le)对(duì)準精度(dù)的要(yào)求。这(zhè)種(zhǒng)方(fāng)法(fǎ)适合大(dà)規模生(shēng)産,但需要(yào)特(tè)殊設備處(chù)理(lǐ)不(bù)同(tóng)材料的热(rè)膨脹系(xì)數差异(yì)。
(3) 單片(piàn)集成(chéng)(Monolithic Integration)
最理(lǐ)想(xiǎng)的方(fāng)案(àn)是(shì)直(zhí)接在(zài)矽衬底上(shàng)生(shēng)长(cháng)III-V族材料,但面(miàn)臨約4%的晶格失配問(wèn)題(tí)。科學(xué)家们(men)通过(guò)两(liǎng)種(zhǒng)創新(xīn)方(fāng)法(fǎ)突破:
(4) 3D异(yì)質(zhì)集成(chéng)
加州大(dà)學(xué)聖塔芭芭拉分(fēn)校(xiào)团(tuán)隊提出(chū)革(gé)命性(xìng)的多(duō)层(céng)架構:在(zài)底层(céng)制作(zuò)超低(dī)損耗氮化(huà)矽波(bō)導(損耗僅0.5dB/m),中(zhōng)間(jiān)层(céng)为(wèi)矽光(guāng)電(diàn)路(lù),頂层(céng)集成(chéng)磷化(huà)铟激光(guāng)器。这(zhè)種(zhǒng)垂直(zhí)集成(chéng)不(bù)僅解(jiě)決了(le)光(guāng)源問(wèn)題(tí),還(huán)利用(yòng)超高(gāo)Q值微环(huán)(Q=5×10⁷)实現(xiàn)了(le)超窄(zhǎi)線(xiàn)宽激光(guāng)輸出(chū)(本(běn)征線(xiàn)宽5Hz),甚至(zhì)無需傳統激光(guāng)系(xì)統中(zhōng)的光(guāng)學(xué)隔離器。
激光(guāng)芯片(piàn)與(yǔ)矽光(guāng)芯片(piàn)集成(chéng)技術(shù)路(lù)線(xiàn)图(tú)
倒裝(zhuāng)焊集成(chéng) → 晶圆(yuán)鍵合 → 單片(piàn)集成(chéng) → 3D异(yì)質(zhì)集成(chéng)
靈活性(xìng)高(gāo) 量(liàng)産優勢 理(lǐ)想(xiǎng)方(fāng)案(àn) 終(zhōng)极形态
但效率低(dī) 工藝复雜 技術(shù)挑戰 性(xìng)能(néng)巅峰(fēng)
2.3 協同(tóng)效應(yìng):1+1>2的系(xì)統優勢
當激光(guāng)芯片(piàn)與(yǔ)矽光(guāng)芯片(piàn)成(chéng)功融合,将産生(shēng)顯著的協同(tóng)效應(yìng):
三(sān)、應(yìng)用(yòng)场(chǎng)景:從光(guāng)通信(xìn)到(dào)生(shēng)物(wù)傳感(gǎn)
3.1 數據(jù)中(zhōng)心(xīn):從100G到(dào)400G的進(jìn)化(huà)
數據(jù)中(zhōng)心(xīn)內(nèi)部(bù)服(fú)務(wù)器間(jiān)的數據(jù)交換是(shì)激光(guāng)與(yǔ)矽光(guāng)技術(shù)融合的主戰场(chǎng)。100G光(guāng)模块(kuài)时(shí)代(dài),矽光(guāng)技術(shù)已在(zài)Intel的100G PSM4模块(kuài)中(zhōng)嶄露(lù)头(tóu)角,占據(jù)該類(lèi)型80%的市(shì)场(chǎng)份額4。進(jìn)入(rù)400G时(shí)代(dài),傳統直(zhí)接調制激光(guāng)器(DML)面(miàn)臨带(dài)宽瓶(píng)頸,而矽光(guāng)集成(chéng)方(fāng)案(àn)通过(guò)以(yǐ)下(xià)優勢成(chéng)为(wèi)主流:
3.2 激光(guāng)雷(léi)达(dá)與(yǔ)傳感(gǎn):微型化(huà)與(yǔ)高(gāo)性(xìng)能(néng)
在(zài)自(zì)動(dòng)驾駛領域,激光(guāng)雷(léi)达(dá)系(xì)統需要(yào)緊湊、可(kě)靠且(qiě)高(gāo)性(xìng)能(néng)的光(guāng)源與(yǔ)掃描系(xì)統。通过(guò)矽光(guāng)芯片(piàn)集成(chéng)VCSEL激光(guāng)阵(zhèn)列,可(kě)实現(xiàn):
降低(dī)成(chéng)本(běn):利用(yòng)矽基批量(liàng)制造優勢,使高(gāo)端激光(guāng)雷(léi)达(dá)價格降至(zhì)汽車可(kě)接受範围。
檸檬光(guāng)子激光(guāng)芯片(piàn)
在(zài)气(qì)体傳感(gǎn)領域,法(fǎ)國(guó)研究者(zhě)開(kāi)發(fà)出(chū)革(gé)命性(xìng)方(fāng)案(àn):在(zài)图(tú)案(àn)化(huà)矽衬底上(shàng)外(wài)延生(shēng)长(cháng)GaSb激光(guāng)器,直(zhí)接耦合到(dào)氮化(huà)矽波(bō)導。这(zhè)種(zhǒng)中(zhōng)紅(hóng)外(wài)激光(guāng)芯片(piàn)能(néng)精确匹(pǐ)配气(qì)体分(fēn)子的“指紋”吸收(shōu)峰(fēng),为(wèi)便攜式环(huán)境监測設備開(kāi)辟新(xīn)途徑。
3.3 未来(lái)顯示與(yǔ)量(liàng)子計(jì)算
矽光(guāng)芯片(piàn)集成(chéng)微激光(guāng)阵(zhèn)列有(yǒu)望推動(dòng)增強(qiáng)現(xiàn)实(AR)顯示的突破:
在(zài)量(liàng)子信(xìn)息領域,矽光(guāng)芯片(piàn)集成(chéng)的超窄(zhǎi)線(xiàn)宽激光(guāng)器已成(chéng)为(wèi)量(liàng)子光(guāng)源的理(lǐ)想(xiǎng)泵浦源。加州大(dà)學(xué)团(tuán)隊開(kāi)發(fà)的超低(dī)噪聲激光(guāng)芯片(piàn)(頻率噪聲2.3Hz²/Hz),可(kě)滿足量(liàng)子密鑰分(fēn)發(fà)和(hé)量(liàng)子計(jì)算对(duì)光(guāng)源的极端穩定(dìng)性(xìng)要(yào)求。
四(sì)、未来(lái)挑戰與(yǔ)發(fà)展(zhǎn)趨勢
4.1 技術(shù)瓶(píng)頸與(yǔ)突破方(fāng)向(xiàng)
盡管(guǎn)前(qián)景廣闊,激光(guāng)芯片(piàn)與(yǔ)矽光(guāng)芯片(piàn)的深度(dù)融合仍面(miàn)臨多(duō)重(zhòng)挑戰:
· 热(rè)管(guǎn)理(lǐ)難題(tí):激光(guāng)器工作(zuò)时(shí)産生(shēng)高(gāo)热(rè),而矽光(guāng)器件(jiàn)对(duì)温(wēn)度(dù)敏感(gǎn)。解(jiě)決方(fāng)案(àn)包(bāo)括:
o 热(rè)隔離結構設計(jì):在(zài)激光(guāng)器下(xià)方(fāng)制作(zuò)深槽隔離;
o 集成(chéng)热(rè)電(diàn)制冷(lěng)器(TEC):实現(xiàn)局(jú)部(bù)精準温(wēn)控;
o 采用(yòng)量(liàng)子點(diǎn)增益材料:降低(dī)温(wēn)度(dù)敏感(gǎn)性(xìng)。
· 封(fēng)裝(zhuāng)成(chéng)本(běn)占比过(guò)高(gāo):當前(qián)矽光(guāng)模块(kuài)中(zhōng)封(fēng)裝(zhuāng)成(chéng)本(běn)占比高(gāo)达(dá)60-80%。前(qián)沿方(fāng)案(àn)如(rú):
o 光(guāng)接口(kǒu)标(biāo)準化(huà):制定(dìng)統一(yī)光(guāng)纖阵(zhèn)列对(duì)接标(biāo)準;
o 晶圆(yuán)級測試與(yǔ)封(fēng)裝(zhuāng):在(zài)劃(huà)片(piàn)前(qián)完成(chéng)多(duō)數測試步驟;
o 自(zì)对(duì)準結構:利用(yòng)微機(jī)械結構簡化(huà)光(guāng)纖阵(zhèn)列对(duì)準。
· 調制效率提升(shēng):矽的载(zài)流子等離子色(sè)散(sàn)效應(yìng)較弱(ruò),導致(zhì)調制器尺(chǐ)寸(cùn)較大(dà)。創新(xīn)方(fāng)向(xiàng)包(bāo)括:
o 铌酸(suān)锂-矽异(yì)質(zhì)集成(chéng):利用(yòng)铌酸(suān)锂的強(qiáng)電(diàn)光(guāng)效應(yìng);
o 微腔增強(qiáng)調制:通过(guò)諧振效應(yìng)增強(qiáng)光(guāng)與(yǔ)物(wù)質(zhì)相互作(zuò)用(yòng);
o 二(èr)维材料集成(chéng):石墨(mò)烯等材料提供超快(kuài)調制能(néng)力。
4.2 前(qián)沿趨勢:异(yì)質(zhì)集成(chéng)與(yǔ)超越矽基
未来(lái)十年(nián),激光(guāng)與(yǔ)矽光(guāng)芯片(piàn)的融合将向(xiàng)更(gèng)高(gāo)维度(dù)發(fà)展(zhǎn):
結語(yǔ):融合中(zhōng)的光(guāng)電(diàn)子未来(lái)
激光(guāng)芯片(piàn)與(yǔ)矽光(guāng)芯片(piàn)的關(guān)系(xì)恰如(rú)“光(guāng)源”與(yǔ)“光(guāng)路(lù)”的辩(biàn)證統一(yī):一(yī)方(fāng)專注于(yú)能(néng)量(liàng)的高(gāo)效轉(zhuǎn)換,另(lìng)一(yī)方(fāng)擅长(cháng)信(xìn)息的精密操控;一(yī)方(fāng)依赖特(tè)殊的化(huà)合物(wù)材料,另(lìng)一(yī)方(fāng)紮根(gēn)成(chéng)熟的矽基工藝。二(èr)者(zhě)看(kàn)似截然不(bù)同(tóng),卻在(zài)技術(shù)深层(céng)緊密相連(lián)——矽光(guāng)芯片(piàn)需要(yào)激光(guāng)芯片(piàn)賦予“生(shēng)命之(zhī)光(guāng)”,激光(guāng)芯片(piàn)也需矽光(guāng)平台实現(xiàn)“功能(néng)擴展(zhǎn)”。
随着3D异(yì)質(zhì)集成(chéng)等技術(shù)的突破,两(liǎng)類(lèi)芯片(piàn)的邊(biān)界正(zhèng)逐漸模糊。未来(lái)的光(guāng)電(diàn)子芯片(piàn)或(huò)許不(bù)再區(qū)分(fēn)“激光(guāng)”與(yǔ)“矽光(guāng)”,而是(shì)演變(biàn)为(wèi)統一(yī)的多(duō)功能(néng)光(guāng)子引擎:在(zài)垂直(zhí)堆(duī)疊的納米层(céng)中(zhōng),III-V材料提供光(guāng)增益,矽实現(xiàn)高(gāo)速信(xìn)号(hào)處(chù)理(lǐ),氮化(huà)矽承擔长(cháng)距離光(guāng)傳輸,铌酸(suān)锂負责精密調制...这(zhè)種(zhǒng)深度(dù)融合的光(guāng)電(diàn)子芯片(piàn)将成(chéng)为(wèi)算力网(wǎng)絡的新(xīn)型基础設施,推動(dòng)人(rén)工智能(néng)、量(liàng)子計(jì)算、元(yuán)宇宙等前(qián)沿領域突破現(xiàn)有(yǒu)物(wù)理(lǐ)限制,照亮(liàng)人(rén)類(lèi)數字(zì)化(huà)生(shēng)存的未来(lái)图(tú)景。
正(zhèng)如(rú)加州大(dà)學(xué)聖塔芭芭拉分(fēn)校(xiào)Bowers教授团(tuán)隊在(zài)《Nature》上(shàng)展(zhǎn)望的:“3D集成(chéng)不(bù)僅解(jiě)決了(le)今天(tiān)的激光(guāng)噪聲問(wèn)題(tí),更(gèng)打(dǎ)開(kāi)了(le)多(duō)材料、多(duō)功能(néng)光(guāng)子集成(chéng)的大(dà)門(mén)——这(zhè)正(zhèng)是(shì)未来(lái)計(jì)算系(xì)統所(suǒ)需的‘光(guāng)之(zhī)基石’”。